هنگام ضد عفونی کردن اجزای ماسک تنفسی، آنها باید جدا شده و با یک ضد عفونی کننده حاوی کلر تمیز شوند.قطعات مقاوم در برابر حرارت و فشار بهتر است اتوکلاو شوند.

برای قطعاتی که در برابر حرارت یا فشار مقاوم نیستند، می توان از روش های جایگزین مانند استریلیزاسیون پلاسما با پراکسید هیدروژن یا خیساندن در محلول گلوتارآلدئید خنثی 2 درصد به مدت 10 ساعت استفاده کرد.

لوله ها و کیسه های روی ماسک تنفسی باید هر 48 ساعت یکبار تعویض شوند.اگر تجمع رطوبت شدید باشد، تعویض مکرر توصیه می شود.

نبولایزرها باید روزانه با فشار بخار تمیز و ضدعفونی شوند.در صورت وجود، رطوبت‌سازهای یکبار مصرف را می‌توان در داخل مرکز استفاده کرد.

علاوه بر این، اتصال ماسک تنفسی به یکدستگاه استریل کننده مدار تنفسی بیهوشیاجازه می دهد تا لوله داخلی تمیز و ضد عفونی شود.علاوه بر این، قرار دادن ماسک تنفسی در محفظه استریلیزاسیون دستگاه استریل کننده چرخه می تواند از ضدعفونی کامل اطمینان حاصل کند.

استریل کردن اجزای دستگاه تنفس یک گزینه مفید برای جلوگیری از آلودگی متقابل و محافظت از پزشکان و بیماران است.با رعایت این پروتکل های ضدعفونی، محیطی بهداشتی در واحد پزشکی باعث کاهش خطر ابتلا می شود.