เมื่อฆ่าเชื้อส่วนประกอบของเครื่องช่วยหายใจ จะต้องถอดชิ้นส่วนและทำความสะอาดด้วยน้ำยาฆ่าเชื้อที่มีคลอรีนส่วนประกอบที่ทนความร้อนและแรงดันจะถูกนึ่งฆ่าเชื้อได้ดีที่สุด

สำหรับชิ้นส่วนที่ไม่ทนความร้อนหรือทนแรงดัน สามารถใช้วิธีอื่นได้ เช่น การฆ่าเชื้อในพลาสมาด้วยไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ หรือการแช่ในสารละลายกลูตาราลดีไฮด์ที่เป็นกลาง 2% เป็นเวลา 10 ชั่วโมง

ควรเปลี่ยนท่อและถุงบนเครื่องช่วยหายใจทุกๆ 48 ชั่วโมงหากความชื้นสะสมรุนแรง แนะนำให้เปลี่ยนบ่อยกว่านี้

ควรทำความสะอาดและฆ่าเชื้อเครื่องพ่นยาทุกวันด้วยแรงดันไอน้ำอาจใช้เครื่องทำความชื้นแบบใช้แล้วทิ้งภายในสถานที่ได้ หากมี

นอกจากนี้ การเชื่อมต่อเครื่องช่วยหายใจเข้ากับเครื่องฆ่าเชื้อวงจรดมยาสลบช่วยให้ท่อภายในสามารถทำความสะอาดและฆ่าเชื้อได้นอกจากนี้ การวางหน้ากากช่วยหายใจไว้ในห้องฆ่าเชื้อของเครื่องอบฆ่าเชื้อแบบวงจรสามารถรับประกันการฆ่าเชื้อได้อย่างทั่วถึง

การฆ่าเชื้อส่วนประกอบของเครื่องช่วยหายใจเป็นทางเลือกที่เป็นประโยชน์ในการป้องกันการปนเปื้อนข้ามและปกป้องทั้งแพทย์และผู้ป่วยด้วยการปฏิบัติตามระเบียบการฆ่าเชื้อโรคเหล่านี้ สภาพแวดล้อมที่ถูกสุขลักษณะในหน่วยการแพทย์จะช่วยลดความเสี่ยงของการติดเชื้อได้