Khi khử trùng các bộ phận của mặt nạ phòng độc, chúng phải được tháo rời và làm sạch bằng chất khử trùng có chứa clo.Các bộ phận chịu nhiệt và áp suất tốt nhất nên được hấp khử trùng.

Đối với các bộ phận không chịu được nhiệt hoặc chịu áp lực, có thể sử dụng các phương pháp thay thế như khử trùng huyết tương bằng hydro peroxide hoặc ngâm trong dung dịch glutaraldehyde trung tính 2% trong 10 giờ.

Ống và túi trên mặt nạ phòng độc nên được thay thế sau mỗi 48 giờ.Nếu độ ẩm tích tụ nghiêm trọng thì nên thay thế thường xuyên hơn.

Máy phun sương nên được làm sạch và khử trùng hàng ngày bằng áp suất hơi nước.Có thể sử dụng máy tạo độ ẩm dùng một lần trong cơ sở nếu có.

Ngoài ra, việc kết nối mặt nạ phòng độc với mộtmáy khử trùng dây thở gây mêcho phép ống bên trong được làm sạch và khử trùng.Ngoài ra, việc đặt mặt nạ hô hấp vào buồng khử trùng của máy tiệt trùng theo chu trình có thể đảm bảo khử trùng triệt để.

Khử trùng các bộ phận của mặt nạ phòng độc là một lựa chọn có lợi để ngăn ngừa lây nhiễm chéo và bảo vệ cả bác sĩ và bệnh nhân.Bằng cách tuân thủ các quy trình khử trùng này, môi trường hợp vệ sinh trong đơn vị y tế sẽ giảm nguy cơ nhiễm trùng.